用于研究開發(fā)的高密度等離子蝕刻裝置NE-550 EX，以有磁場ICP（ISM＝Inductivery Super Magnetron）方式的高密度等離子蝕刻裝置，采用單葉式的標準裝備了LL室，實現(xiàn)了緊湊、低價格。