產(chǎn)品特性：
 ? 通過(guò)利用常規(guī)過(guò)程數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)了易用性
 ? 通過(guò)在負(fù)載鎖定室中安裝暗盒機(jī)構(gòu)（可選）來(lái)提高生產(chǎn)率
 ? zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
 ? 支持堆疊/同時(shí)濺射多個(gè)陰極
 ? 通過(guò)觸摸屏和配方輸入自動(dòng)處理，節(jié)省了人工
 ? 可以記錄數(shù)據(jù)

產(chǎn)品應(yīng)用：
? 電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
? 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護(hù)膜等
? 用于電子零件和小規(guī)模生產(chǎn)的研發(fā)